WO2025162543 - PROZESSIERANORDNUNG UND VERFAHREN
National phase entry is expected:
Publication Number
WO/2025/162543
Publication Date
07.08.2025
International Application No.
PCT/DE2025/100119
International Filing Date
30.01.2025
Title **
[German]
PROZESSIERANORDNUNG UND VERFAHREN
[English]
PROCESSING ASSEMBLY AND METHOD
[French]
DISPOSITIF DE TRAITEMENT ET PROCÉDÉ
Applicants **
VON ARDENNE ASSET GMBH & CO. KG
Inventors
WENDLER, Arno
Priority Data
102024102963.3
02.02.2024
DE
Application details
| Total Number of Claims/PCT | * |
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International Searching Authority |
EPO
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Change of Applicant's Name and Address
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| Type of Assignment |
The Standard Agent's Assignment
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| Applicant's Legal Status |
Legal Entity
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| Entry into National Phase under |
Chapter I
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| Patent Delivery |
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Quotation for National Phase entry
| Country | Stages | Total | |
|---|---|---|---|
| China | Filing, Examination, Granting | 2045 | |
| EPO | Filing, Examination, Granting | 8193 | |
| Japan | Filing, Examination, Granting | 2178 | |
| South Korea | Filing, Examination, Granting | 2043 | |
| USA | Filing, Examination, Granting | 4740 |
Total:
19,199
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Abstract[German]
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann eine Prozessieranordnung (100) aufweisen: eine Prozessierkammer (802), ein erstes Transportsystem (110) zum Transportieren eines ersten Substrats entlang eines ersten Transportpfads (110t) in der Prozessierkammer (802); ein zweites Transportsystem (112) zum Transportieren eines zweiten Substrats entlang eines zweiten Transportpfads (112t) in der Prozessierkammer (802), welcher neben dem ersten Transportpfad (110t) verläuft, vorzugsweise parallel dazu; eine Strahlungsquelle (102), welche zwischen dem ersten Transportpfad (110t) und dem zweiten Transportpfad (110t) angeordnet und eingerichtet ist, elektromagnetische Strahlung zu erzeugen, welcher der erste Transportpfad (110t) und der zweite Transportpfad (110t) ausgesetzt ist.[English]
According to various embodiments, a processing assembly (100) can have: a processing chamber (802); a first transport system (110) for transporting a first substrate along a first transport path (110t) in the processing chamber (802); a second transport system (112) for transporting a second substrate along a second transport path (112t) in the processing chamber (802), said second transport path running next to the first transport path (110t), preferably parallel thereto; and a radiation source (102) that is provided between the first transport path (110t) and the second transport path (110t) and is designed to generate electromagnetic radiation to which the first transport path (110t) and the second transport path (110t) are exposed.[French]
Dans différents modes de réalisation, l'invention concerne un dispositif de traitement (100) pouvant comprendre : une chambre de traitement (802), un premier système de transport (110) pour transporter un premier substrat le long d'un premier trajet de transport (110t) dans la chambre de traitement (802) ; un deuxième système de transport (112) pour transporter un deuxième substrat le long d'un deuxième trajet de transport (112t) dans la chambre de traitement (802) qui s'étend à côté du premier trajet de transport (110t), de préférence parallèlement à celui-ci ; une source de rayonnement (102) qui est disposée entre le premier trajet de transport (110t) et le deuxième trajet de transport (110t) et qui est conçue pour générer un rayonnement électromagnétique auquel sont exposés le premier trajet de transport (110t) et le deuxième trajet de transport (110t).