IP-Coster | WO2026098057 | IMPRINTING METHOD AND DEVICE

Country	Stages	Total
China	Filing, Examination, Granting	1921
EPO	Filing, Examination, Granting	14140
Japan	Filing, Examination, Granting	2315
South Korea	Filing, Examination, Granting	2481
USA	Filing, Examination, Granting	4740

Abstract[English] The present invention provides an imprinting method and device. First, an unstrengthened wafer is cut according to a preset shape to obtain a plurality of sub-wafers, then the sub-wafers are subjected to high-intensity strengthening treatment, and finally, an imprinting resist is applied onto the strengthened sub-wafers and imprinted to form micro-nano structures. In this way, the cutting and strengthening processes are performed in advance, eliminating the need for cutting and strengthening after the imprinted structures are formed, thus effectively preventing damage to the imprinted structures caused by subsequent cutting and strengthening. In addition, the imprinting device provided in the present invention is employed during imprinting. Before imprinting, a soft film tension adjusting assembly is located at a first height, so that the tension of a flexible soft film satisfies the requirement for tensioning the flexible soft film; and during imprinting, the soft film tension adjusting assembly is located at a second height, so that the tension of the flexible soft film is kept at zero. The technical solution provided in the present application can improve an imprinting effect.[French] La présente invention concerne un procédé et un dispositif d'impression. Une tranche non renforcée est d'abord découpée selon une forme prédéfinie pour obtenir une pluralité de sous-tranches, les sous-tranches sont ensuite soumises à un traitement de renforcement à haute intensité, et enfin une réserve d'impression est appliquée sur les sous-tranches renforcées et imprimée pour former des micro-nano-structures. De cette manière, les processus de coupe et de renforcement sont effectués à l'avance, ce qui élimine le besoin de procéder à la coupe et au renforcement après la formation des structures imprimées, empêchant ainsi efficacement l'endommagement des structures imprimées provoqué par une coupe et un renforcement ultérieurs. De plus, le dispositif d'impression de la présente invention est utilisé pendant l'impression. Avant l'impression, un ensemble d'ajustement de tension de film souple se trouve à une première hauteur, de telle sorte que la tension d'un film souple et flexible satisfait l'exigence de tension du film souple et flexible ; et pendant l'impression, l'ensemble d'ajustement de tension de film souple se trouve à une seconde hauteur, de telle sorte que la tension du film souple et flexible est maintenue à zéro. La solution technique de la présente demande peut améliorer un effet d'impression.[Chinese] 本发明提供了一种压印方法及装置，先按预设外形切割未经钢化的晶圆，得到多个子晶圆，再对子晶圆进行较高强度的钢化处理，最后在钢化后的子晶圆上设置压印胶并压印形成微纳结构；切割和钢化工序前置，形成压印结构后无需再切割和钢化，有效防止了切割和钢化对压印结构的破坏；同时压印时采用本发明提供的压印装置；在压印前，软膜张力调节组件位于第一高度，以使柔性软膜的张力满足柔性软膜拉紧；在压印过程中，软膜张力调节组件位于第二高度，以使柔性软膜的张力保持为零；本申请提供的技术方案能够改善压印效果。

Total Number of Claims/PCT	*
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Number of Priorities	*
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Pages for Publication	*
Number of Pages with Drawings	*
Pages of Specification	*
Sequence Listing	*
Number of Office Actions	*
International Search Report is established	*
International Searching Authority	CNIPA *
Recordal of a Change of the Applicant's Name/Address	Change of Applicant's Name and Address *
Type of Assignment	The Standard Agent's Assignment *
Applicant's Legal Status	Legal Entity *
Small Entity	*
Non-Commercial Organization	*
Micro Entity	*
Small Entity, USA	*
Micro Entity, USA	*
Entry into National Phase under	Chapter I *
Patent Delivery	Send the Letters Patent by Courier *
Translation

WO2026098057 - IMPRINTING METHOD AND DEVICE

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