WO2026045667 - LIGHT SPOT SHAPING DEVICE AND LASER PROCESSING APPARATUS

National phase entry is expected:
Publication Number WO/2026/045667
Publication Date 05.03.2026
International Application No. PCT/CN2025/106835
International Filing Date 03.07.2025
Title **
[English] LIGHT SPOT SHAPING DEVICE AND LASER PROCESSING APPARATUS
[French] DISPOSITIF DE MISE EN FORME DE POINT LUMINEUX ET APPAREIL DE TRAITEMENT LASER
[Chinese] 光斑整形装置及激光加工设备
Applicants **
SHENZHEN HAN'S SEMICONDUCTOR EQUIPMENT TECHNOLOGY CO., LTD.
Inventors
SONG, Gaofeng
ZHANG, Yao
SUN, Yafei
HE, Yun
YIN, Jiangang
Priority Data
202411184839.5   27.08.2024   CN
Application details
Total Number of Claims/PCT *
Number of Independent Claims *
Number of Priorities *
Number of Multi-Dependent Claims *
Number of Drawings *
Pages for Publication *
Number of Pages with Drawings *
Pages of Specification *
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Number of Office Actions *
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International Searching Authority
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Recordal of a Change of the Applicant's Name/Address
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Type of Assignment
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Applicant's Legal Status
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Entry into National Phase under
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Patent Delivery
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Translation

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Quotation for National Phase entry

Country StagesTotal
China Filing, Examination, Granting1574
EPO Filing, Examination, Granting11587
Japan Filing, Examination, Granting2023
South Korea Filing, Examination, Granting1783
USA Filing, Examination, Granting4740
MasterCard Visa
Total: 21,707
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Abstract[English] Disclosed in the present application are a light spot shaping device and a laser processing apparatus. The light spot shaping device comprises a base, a light spot defining mechanism and a light collection mechanism, wherein the base is provided with a through hole through which laser passes; the light spot defining mechanism comprises a driving member disposed on the base and a light blocking member located above the through hole, the driving member being used for driving the light blocking member to move, so as to block part of the laser beam path; and the light collection mechanism comprises a housing disposed on one side of the light spot defining mechanism and a coolant flow channel arranged on the housing, the side of the housing facing the light blocking member being provided with an opening for the entry of reflected light, which is formed by reflection from the light blocking member. The beam path corresponding to some segments of a linear light spot being blocked by the light blocking member can achieve the effect of shortening the length of the light spot, and this alone does not change the energy density of the laser. In addition, the reflected light enters the housing and is converted into thermal energy, avoiding causing interference with the operating beam path. After coolant is introduced into the coolant flow channel within the housing, the light collection mechanism can also be cooled.[French] Sont divulgués dans la présente demande un dispositif de mise en forme de point lumineux et un appareil de traitement laser. Le dispositif de mise en forme de point lumineux comprend une base, un mécanisme de délimitation de point lumineux et un mécanisme de collecte de lumière. La base est pourvue d'un trou traversant à travers lequel passe le laser ; le mécanisme de délimitation de point lumineux comprend un élément d'entraînement disposé sur la base et un élément de blocage de lumière situé au-dessus du trou traversant, l'élément d'entraînement est utilisé pour entraîner le déplacement de l'élément de blocage de lumière, de façon à bloquer une partie du trajet de faisceau laser ; et le mécanisme de collecte de lumière comprend un boîtier disposé sur un côté du mécanisme de délimitation de point lumineux et un canal d'écoulement de fluide de refroidissement disposé sur le boîtier, le côté du boîtier faisant face à l'élément de blocage de lumière étant pourvu d'une ouverture pour l'entrée d'une lumière réfléchie, formée par la réflexion par l'élément de blocage de lumière. Le trajet de faisceau correspondant à certains segments d'un point lumineux linéaire qui est bloqué par l'élément de blocage de lumière permet d'obtenir l'effet d'un raccourcissement de la longueur du point lumineux, qui a lui seul ne modifie pas la densité d'énergie du laser. De plus, la lumière réfléchie entre dans le boîtier et est convertie en énergie thermique, ce qui évite de provoquer une interférence avec le trajet de faisceau de fonctionnement. Après l'introduction du fluide de refroidissement dans le canal d'écoulement de fluide de refroidissement à l'intérieur du boîtier, le mécanisme de collecte de lumière peut également être refroidi.[Chinese] 本申请公开一种光斑整形装置及激光加工设备,光斑整形装置包括基座、光斑截取机构以及光线收集机构,基座上设有用于供激光通过的通孔;光斑截取机构包括设于基座上的驱动件,以及位于通孔上方的遮光件,驱动件用于驱动遮光件运动,以遮挡激光光路的部分区域;光线收集机构包括设于光斑截取机构一侧的壳体,以及设于壳体上的冷媒流道,壳体朝向遮光件的一侧设有供反射光射入的开口,反射光由遮光件反射形成。线光斑的部分区段对应的光路被遮光件遮挡后可起到缩短光斑长度的作用,仅采用遮挡的形式不会改变激光的能量密度。此外反射光还进入壳体并转化成热能,不会对工作光路产生干扰。壳体中的冷媒流道通入冷媒后还能够对光线收集机构进行降温。

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